PlasmaClean(电浆清洗BeforeWB)在密闭真空中充入少量Ar、H2、O2中的一种或几种气体,利用RFpower在平形板电极形成电场使电子来回震荡,电子激发并电离气体产生电浆,撞击基板和芯片表面,与污染物产生物理或化学反应,利用气体流通将污染物去除。电浆清洗使表面微结构产生官能基或达到一定的粗糙度,增加不同材料之间的结合力,增加焊点的可靠性以及基板与塑封材料之间的结合力,从而提高产品的
2022.09.16
More +2022.09.28
More +2022.09.28
More +2022.09.28
More +2022.09.28
More +